指標(biāo)名稱

規(guī)格

分析純AR

化學(xué)純CP

電子級(jí)

制定級(jí)

含量

≥99.0%

≥99.0%

≥99.0%

可制定芯片專用硫酸銨

pH( 50 g/L ,25 ℃)

4.8~6.0

4.8~6.0

澄清度實(shí)驗(yàn)

≤3

≤5

--

水不溶物

≤0.002%

≤0.01%

--

灼燒殘?jiān)?/p>

≤0.01%

≤0.05%

≤0.05%

氯化物

≤0.000 5%

≤0.001%

≤0.0002%

硝酸鹽

≤0.001%

≤0.005%

≤0.0005%

磷酸鹽

≤0.000 5%

≤0.002%

≤0.001%

砷

≤0.000 02%

≤0.000 2%

--

鈣

≤0.005%

—

≤0.0001%

鐵

≤0.000 2%

≤0.000 5%

≤0.0001%

重金屬

≤0.000 5%

≤0.002%

--

銀

--

--

≤0.0001%

鋁

--

--

≤0.0001%

鋇

--

--

≤0.0001%

鎘

--

--

≤0.0001%

鈷

--

--

≤0.0001%

鉻

--

--

≤0.0001%

鉀

--

--

≤0.0002%

鋰

--

--

≤0.0001%

鎂

--

--

≤0.0001%

錳

--

--

≤0.0001%

鈉

--

--

≤0.0001%

鎳

--

--

≤0.0001%

鉛

--

--

≤0.0001%

錫

--

--

≤0.0001%

鍶

--

--

≤0.0001%

鋅

--

--

≤0.0001%

銅

--

--

≤0.0001%